[发明专利]一种新型用于机械设备的抛光液在审
申请号: | 201410556500.3 | 申请日: | 2014-10-20 |
公开(公告)号: | CN104327743A | 公开(公告)日: | 2015-02-04 |
发明(设计)人: | 王省业 | 申请(专利权)人: | 青岛锦绣水源商贸有限公司 |
主分类号: | C09G1/04 | 分类号: | C09G1/04 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 266000 山*** | 国省代码: | 山东;37 |
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摘要: | 本发明公开了一种新型用于机械设备的抛光液,其特征在于,包括下列重量份数的物质:双氧水25-34份,邻苯二甲酸二异癸酯5-9份,抗坏血酸棕榈酸酯11-24份,加氢机油10-16份,氯化石蜡3-7份,9,10-环氧硬脂酸辛酯11-17份,分子筛11-24份,二氯甲烷10-16份,乙酸20-34份,硝基苯25-46份,水55-60份。本发明的化学机械抛光液可抑制低介电材料的抛光速率,而对铜和二氧化硅的去除速率影响不大,同时可减少被抛光材料的表面污染物。 | ||
搜索关键词: | 一种 新型 用于 机械设备 抛光 | ||
【主权项】:
一种新型用于机械设备的抛光液,其特征在于,包括下列重量份数的物质:双氧水25‑34份,邻苯二甲酸二异癸酯5‑9份,抗坏血酸棕榈酸酯11‑24份,加氢机油10‑16份,氯化石蜡3‑7份,9,10‑环氧硬脂酸辛酯11‑17份,分子筛11‑24份,二氯甲烷10‑16份,乙酸20‑34份,硝基苯25‑46份,水55‑60份。
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