[发明专利]含铜蚀刻液电解获得铜板并再生循环利用方法及系统

摘要

一种含铜蚀刻液电解获得铜板并再生循环利用方法及装置，其特征是所述的装置包括：蚀刻液溢流存储桶（1）、内部连通的阳极电解液循环槽（4）和阴极电解液循环槽（3），阳极电解液循环槽（4）和阴极电解液循环槽（3）中至少有一个与蚀刻液溢流存储桶（1）的出口端相连通；由阳极电解室（5）和阴极电解室（6）阵列组成的电解系统，阳极电解室气体吸收布气管（11）和一阴极电解室气体吸收布气管（12）；进入阴极室电解气体吸收循环槽（8）的气体经处理后形成盐液排放到综合环保处理池处理，阳极室电解气体吸收循环槽（7）和阴极室电解气体吸收循环槽（8）部分未处理的气体进入化气塔（9）净化处理后排放。本发明不公能循环使用刻蚀液而且能直接得到铜板。

主权项

一种含铜蚀刻液电解获得铜板并再生循环利用方法，其特征是它包括以下步骤：    首先，蚀刻液溢流存储桶（1）中的蚀刻液注满阳极电解液循环槽（4）中，再通过溢流口进入阴极电解液循环槽（3）中；    其次，将阳极电解液循环槽（4）和阴极电解液循环槽（3）中的废蚀刻液引入阳极电解室（5）和阴极电解室（6）的下部进行电解，阳极电解室（5）和阴极电解室（6）之间采用改性离子膜隔离，采用钛板作为阴极电极；控制阳极电解室（5）和阴极电解室（6）之间的液位差不超过10厘米；第三，当在线检测蚀刻液的ORP低于控制参数480－520mv且蚀刻液中铜离子的浓度为60‑150克/升时，离子膜电解系统启动，蚀刻液进入阳极电解室（5），通过电化学作用，蚀刻液中的一价铜离子在阳极失去电子氧化成二价铜离子，二价铜离子增加，一价铜离子减少或消除，提高了蚀刻液的氧化能力，通过阳极电解室（5）高位返回阳极电解液循环槽（4）；与此同时，蚀刻液进入阴极电解室（6），在电解作用下，其中的铜离子在阴极被还原为铜单质并在阴极表面沉积形成纯铜板，从而使铜离子浓度降低，降低铜离子含量之后的蚀刻液从阴极电解室（6）高位返回阴极电解液循环槽（3），与返回阳极电解液循环槽（4）的经阳极电解后的蚀刻液调配后返回蚀刻再生液添加储存桶（2）中供蚀刻工序循环使用，补充后的蚀刻液进入蚀刻液进入生产线后使蚀刻液的指标恢复正常，补充后的蚀刻液经过生产线后ORP指标及铜离子浓度再次降低后进入蚀刻液溢流存储桶（1）中进入下一循环；第四，在阳极电解室和阴极电解室上分别安装阳极气体吸收管和阴极室气体吸收管并将所吸收的气体分别引入对应的阳极室电解气体吸收循环槽（7）和阴极室电解气体吸收处理槽（8）中进行处理，其中阳极室气体在阳极室电解气体吸收循环槽（7）中射流吸收，有效利用阳极室气体进一步提升蚀刻再生液的ORP，阴极室气体经阴极室电解气体吸收处理槽（8）处理后形成盐液排放至综合环保处理池进行后续处理，阳极室电解气体吸收循环槽（7）和阴极室电解气体吸收处理槽（8）中部分未处理的气体引入化气塔（9）净化后进行排放。