[发明专利]逐步加压安全抛光石英玻璃晶圆的方法有效
| 申请号： | 201410527639.5 | 申请日： | 2014-10-09 |
| 公开（公告）号： | CN104289981B | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 花宁;李怀阳;孔敏;王友军;林姣;隋镁深 | 申请（专利权）人： | 中建材衢州金格兰石英有限公司 |
| 主分类号： | B24B1/00 | 分类号： | B24B1/00 |
| 代理公司： | 北京高沃律师事务所 11569 | 代理人： | 王加贵 |
| 地址： | 324000*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种逐步加压安全抛光石英玻璃晶圆的方法，采用逐步加压法，首先通过在轻压下、慢速抛光一段时间以降低试片之间厚度差，之后逐步增加抛光盘上盘压力、提高抛光盘转速以提高抛光速度。能防止了因厚度偏差引起的崩边和破碎，加工效率高、成品率高。 | ||
| 搜索关键词： | 逐步 加压 安全 抛光 石英玻璃 方法 | ||
【主权项】：
1.一种逐步加压安全抛光石英玻璃晶圆的方法，其特征在于，包括步骤：采用逐步加压法，首先通过在轻压下、慢速抛光一段时间以降低试片之间厚度差，之后逐步增加抛光盘上盘压力、提高抛光盘转速以提高抛光速度；包括步骤：首先，测量待抛光石英片厚度h，挑选出厚度差△h小于0.10mm石英片，将所述石英片在所述抛光盘上盘减压下，抛光盘转速1‑20rpm抛光，时间为1‑500圈，直至75％的石英片的厚度差△h小于0.03mm；然后，采用抛光盘上盘自重方式，抛光盘转速提高10‑25rpm，抛光时间1‑500圈，直至75％的石英片的厚度差△h小于0.01mm；最后，采用抛光盘上盘加压的方式，抛光盘转速提高至15‑35rpm，抛光至合适尺寸，抛光速度为0.01‑0.10mm/h；所述抛光盘上盘压力自0bar至3bar逐步加压。
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