[发明专利]一种用于晶体生长的垂直管式炉设备及其使用方法无效
| 申请号： | 201410510474.0 | 申请日： | 2014-09-28 |
| 公开（公告）号： | CN104313680A | 公开（公告）日： | 2015-01-28 |
| 发明（设计）人： | 袁泽锐;康彬;邓建国;唐明静;张羽;窦云巍;方攀 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院化工材料研究所;四川省新材料研究中心 |
| 主分类号： | C30B11/00 | 分类号： | C30B11/00 |
| 代理公司： | 四川省成都市天策商标专利事务所 51213 | 代理人： | 伍孝慈 |
| 地址： | 621000 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于晶体生长的垂直管式炉设备及其使用方法。该晶体生长炉系统包括套管、提拉装置和哑铃式生长安瓿；在加热元件的作用下使该晶体生长炉系统从上到下分低温区、梯度区和高温区三个温区。本发明的晶体生长方向与重力方向一致，对晶体中密度较大的杂质具有很好的排出效果，减少了杂质的聚集和沉淀，所生长晶体均匀性好，无杂质条纹。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 晶体生长 垂直 管式炉 设备 及其 使用方法 | ||
【主权项】：
一种用于晶体生长的垂直管式炉设备，它包括套管(10)、提拉装置(8)和生长安瓿(12)，所述套管(10)内壁覆盖一层炉内保温层(17)，所述炉内保温层(17)内嵌入加热元(11)，并且加热元(11)靠近炉内保温层(17)内壁，所述加热元(11)形成一层加热元件；所述生长安瓿(12)与提拉装置(8)通过牵引线(9)连接，生长安瓿(12)在提拉装置(8)的牵引下在套管(10)内上下运动，其特征在于所述生长安瓿(12)由挂钩(1)、上放肩区(3)、下放肩区(5)、安瓿的上半区(2)、安瓿的下半区(6)和籽晶袋(4)组成，所述的挂钩(1)置于安瓿的上半区(2)顶部并连接牵引线(9)使生长安瓿(12)与提拉装置(8)连接；所述的籽晶袋(4)在安瓿的上半区(2)和安瓿的下半区(6)之间，并通过上放肩区(3)与安瓿的上半区(2)连接，通过下放肩区(5)与安瓿的下半区(6)连接；所述安瓿的上半区(2)柱内径和安瓿的下半区(6)柱内径相同，且大于籽晶袋(4)的柱内径；整个生长安瓿(12)形似哑铃；所述加热元件使生长炉内从上至下分为低温区(14)，梯度区(15)和高温区三个温(16)。
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