[发明专利]一种温湿度传感器在审

专利信息
申请号: 201410508317.6 申请日: 2014-09-28
公开(公告)号: CN104236739A 公开(公告)日: 2014-12-24
发明(设计)人: 谷文;张珽;祁明锋;刘瑞;沈方平;丁海燕 申请(专利权)人: 苏州能斯达电子科技有限公司
主分类号: G01K7/16 分类号: G01K7/16;G01N27/22
代理公司: 广州三环专利代理有限公司 44202 代理人: 麦小婵;郝传鑫
地址: 215123 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种温湿度传感器,包括衬底、导电层、湿度敏感层、测试电极和金属电极;所述导电层形成于所述衬底上,所述湿度敏感层形成于所述导电层上且完全覆盖所述导电层,所述金属电极固定于所述湿度敏感层上,所述测试电极固定于所述衬底上且与所述导电层连接。采用本发明实施例,使温湿度传感器体积小,质量轻,精度高,集成化程度高,制作工艺简单,且成本低廉。
搜索关键词: 一种 温湿度 传感器
【主权项】:
一种温湿度传感器,其特征在于,包括衬底、导电层、湿度敏感层、测试电极和金属电极;所述导电层形成于所述衬底上,所述湿度敏感层形成于所述导电层上且完全覆盖所述导电层,所述金属电极固定于所述湿度敏感层上,所述测试电极固定于所述衬底上且与所述导电层连接。
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