[发明专利]基于扫描探针显微镜的纳米磁热原位探测装置及探测方法有效
| 申请号: | 201410494331.5 | 申请日: | 2014-09-24 |
| 公开(公告)号: | CN105510642B | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
| 发明(设计)人: | 李润伟;陈欣欣;刘宜伟;陈斌;王保敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所 |
| 主分类号: | G01Q60/58 | 分类号: | G01Q60/58;G01Q60/50;G01Q60/56 |
| 代理公司: | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人: | 单英 |
| 地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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| 摘要: | 本发明提供了一种基于扫描探针显微镜的纳米磁热原位探测装置。该装置系统采用具有磁性、导电、导热性的探针,能够提供样品的表面形貌探测、磁信号探测以及热信号探测模式,通过控制探针的位移或振动轨迹,能够原位、同步、实时地探测样品的磁、热性能。因此,该装置克服了现有扫描探针显微镜仅具有磁或热信号的单一探测功能的局限性;同时,能够原位、同步、实时地探测材料的温度与热导分布、磁畴结构及其动态演化过程,从而直观地研究材料的磁‑热之间的耦合规律与机制,有助于降低微/纳器件的功耗,提高其稳定性和集成度,大大推进微/纳尺度热科学的发展。 | ||
| 搜索关键词: | 扫描探针显微镜 原位探测装置 纳米磁 探针 导热性 探测 动态演化过程 信号探测模式 表面形貌 磁畴结构 探测材料 探测功能 探测样品 信号探测 研究材料 振动轨迹 装置系统 耦合规律 集成度 纳器件 热性能 导电 功耗 热导 尺度 直观 | ||
【主权项】:
1.一种基于扫描探针显微镜的纳米磁热原位探测装置,其特征是:包括如下:(1)扫描探针显微镜平台、探针、探针控制单元探针控制单元:用于驱动或者控制探针进行位移和/或振动;探针:具有磁性、导电性与导热性;所述的探针包括探针臂与针尖;(2)形貌与磁性信号检测平台包括位移或振动信号采集单元,用于接收探针的位移信号或振动信号;探针自初始位置对样品表面进行横向定向扫描,扫描过程中控制探针针尖与样品表面点接触,位移或振动信号采集单元接收探针针尖的纵向位移信号或振动信号,经采集得到样品的形貌信号;然后,探针返回至初始位置并且向上抬高一定距离后按照所述的横向定向对样品表面进行扫描,扫描过程中控制探针针尖沿形貌曲线进行纵向位移或者振动,位移或振动信号采集单元接收探针针尖的纵向位移信号或振动信号,经采集分析得到样品的磁信号;(3)热信号检测平台包括热学回路与热信号采集单元;所述的热学回路由电信号施加单元激励电信号,该电信号流入探针并对探针进行加热,探针与样品进行热交换,使热学回路中的电压信号发生变化,经采集分析得到样品的热信号;(4)中心控制单元用于初始化系统各单元,控制系统各单元,接收样品的形貌、磁、热信号,分析后得到样品的形貌、磁、热信号图像。
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