[发明专利]一种扫描探针显微镜中的探针、其制备方法及探测方法有效

专利信息
申请号: 201410493965.9 申请日: 2014-09-24
公开(公告)号: CN105510638B 公开(公告)日: 2018-10-19
发明(设计)人: 李润伟;陈斌;刘宜伟;王保敏 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: G01Q60/16 分类号: G01Q60/16
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种扫描探针显微镜中的探针。该探针由探针臂与针尖组成,针尖包括针尖本体、热电阻材料层,以及导电层或磁性导电层;导电层与热电阻材料层连接,用于探测热电阻材料阻值的变化。利用该探针能够对多功能材料的磁、电、热多参量进行原位表征,从而能够原位、直观地研究材料的电‑热、磁‑热,以及磁‑电‑热之间的耦合规律与机制。
搜索关键词: 一种 扫描 探针 显微镜 中的 制备 方法 探测
【主权项】:
1.一种扫描探针显微镜中的探针,其特征是:包括探针臂与针尖,所述的针尖包括针尖本体、热电阻材料层,第一导电层以及第二导电层;热电阻材料层位于针尖本体表面,第二导电层位于热电阻材料层表面;第一导电层与热电阻材料层相连通;热电阻材料层由热电阻材料构成,用于探测样品温度变化及热导;第一导电层由导电材料构成,与热电阻材料连接,用于探测热电阻材料阻值的变化;第二导电层由非磁性导电材料构成,或者,第二导电层由磁性导电材料构成;并且,电信号施加单元、第一导电层、热电阻材料层、第二导电层以及待测样品形成闭合的电学回路。
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