[发明专利]一种基于宽带慢波系统的多路分波器无效
| 申请号： | 201410492509.2 | 申请日： | 2014-09-24 |
| 公开（公告）号： | CN104269595A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 周永金 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | H01P1/213 | 分类号： | H01P1/213 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于宽带慢波系统的多路分波器。它包括介质板及其上薄的金属-绝缘体-金属（MIM）光栅结构，所述MIM光栅结构由内侧刻蚀周期矩形或者梯形凹槽的两个金属光栅结构和绝缘体组成，金属光栅结构厚度小于百分之一工作波长，金属光栅结构中的所述凹槽的形状是：一条横向长直凹槽与多条垂直等距分布的长度逐渐变化的纵向短直凹槽垂直相交构成，凹槽深度、宽度和/或周期等几何参数渐变，所述绝缘体是空气或其他绝缘介质；MIM光栅结构的功能是使不同频率的电磁波束缚在的不同位置的凹槽中，MIM光栅结构置于介质板上便于与有源器件集成。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 宽带 系统 多路分波器 | ||
【主权项】：
一种基于宽带慢波系统的多路分波器，包括介质板（2）及其上薄的金属‑绝缘体‑金属（MIM）光栅结构，其特征在于：所述MIM光栅结构由内侧刻蚀周期矩形或者梯形凹槽（6）的两个金属光栅结构（3、4）和绝缘体（5）组成，金属光栅结构（3、4）厚度小于百分之一工作波长，金属光栅结构中的所述凹槽（6）的形状是：一条横向长直凹槽与多条垂直等距分布的长度逐渐变化的纵向短直凹槽垂直相交构成，凹槽深度、宽度和周期等几何参数渐变，所述绝缘体是空气和/或其他绝缘介质，MIM光栅结构的功能是使不同频率的电磁波束缚在的不同位置的凹槽中，MIM光栅结构置于介质板上便于与有源器件集成。
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