[发明专利]致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备有效
申请号: | 201410488590.7 | 申请日: | 2014-09-23 |
公开(公告)号: | CN104516100B | 公开(公告)日: | 2019-05-17 |
发明(设计)人: | 广久保望;佐野朗 | 申请(专利权)人: | 精工爱普生株式会社 |
主分类号: | G02B26/00 | 分类号: | G02B26/00;G02B5/28;G01J3/26 |
代理公司: | 北京康信知识产权代理有限责任公司 11240 | 代理人: | 余刚;吴孟秋 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供致动器的驱动系统、光学模块以及电子设备。致动器的驱动系统具备:各静电致动器(55)、(56)、以及将驱动电压(V1)、(V2)分别施加于各静电致动器(55)、(56)的电压控制部(15),电压控制部(15)具备:数字控制器(17),其将对应于各静电致动器(55)、(56)的总驱动量的8比特的驱动用变量P分割为4比特的各单独驱动用变量(p1)、(p2);第一DAC(181),其产生基于第一单独驱动用变量(p1)的第一驱动电压信号(s1);以及第二DAC(182),其产生基于第二单独驱动用变量(p2)的第二驱动电压信号(s2)。 | ||
搜索关键词: | 致动器 驱动 系统 光学 模块 以及 电子设备 | ||
【主权项】:
1.一种致动器的驱动系统,其特征在于,具备:多个致动器,以与驱动电压相应的驱动量进行驱动;以及电压控制部,将所述驱动电压施加于所述多个致动器中的各个致动器,所述电压控制部具备:变量分割单元,将对应于所述多个致动器的总驱动量的多位的驱动用变量分割为单独驱动用变量,所述单独驱动用变量具有至少1位以上并与所述多个致动器各自对应;以及信号产生单元,与所述多个致动器各自对应地设置,并基于所述单独驱动用变量产生与所述驱动电压相应的驱动电压信号,所述多个致动器相对于所述驱动电压的所述驱动量各不相同,所述电压控制部对所述多个致动器提供对应于所述单独驱动用变量的但具有相同值的所述驱动电压,在所述多个致动器中,在相对于所述驱动电压的所述驱动量最接近的两个致动器中的一个所述致动器中使对应的所述单独驱动用变量变化1级时的所述驱动量为另一个所述致动器中变化所述1级时的所述驱动量与施加最大驱动电压时的所述驱动量之和。
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