[发明专利]可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法

摘要

本发明涉及一种可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，对K9玻璃基片进行清洗，去除基片表面的油污杂质；将K9玻璃基底放入离子束刻蚀系统，设定离子束轰击角度、刻蚀电流、加速电压、刻蚀时间，对基片进行离子束刻蚀，形成表面具有一定粗糙度的基底；将刻蚀后的基底清洗干净后置于真空沉积系统中进行烘干；把烘干刻蚀后的基底放入直流溅射沉积系统中，设定沉积工作功率和薄膜沉积时间，将货币金属均匀的沉积在被刻蚀的基底表面，形成表面增强层基底，将沉积好的薄膜基底取出。本发明不需直接糙化表面增强层，能够有效避免对表面增强层的污染；制作简单、生产周期短、成本低，适用批量化生产；本发明无毒无害，不会对操作人员造成伤害。

主权项

一种可调谐表面增强拉曼散射基底的制备方法，其特征在于，具体包括如下步骤：1）对K9玻璃基底进行清洗，去除基片表面的油污杂质；2）将K9玻璃基底放入离子束刻蚀系统，设定离子束轰击角度、刻蚀电流、加速电压、刻蚀时间，对K9玻璃基底进行离子束刻蚀，形成表面具有粗糙度的基底；3）将刻蚀后的基底清洗干净后置于真空沉积系统中进行烘干；4）把烘干刻蚀后的K9玻璃基底放入直流溅射沉积系统中，设定沉积工作功率和薄膜沉积时间，将货币金属均匀的沉积在被刻蚀的基底表面，形成表面增强层基底，将沉积好的薄膜基底取出。