[发明专利]一种衍射极限激光扩束系统及激光加工设备

摘要

本发明适用于激光加工技术领域，提供了一种衍射极限激光扩束系统，包括沿激光传输方向依次设置的前透镜组和后透镜组；前透镜组包括第一透镜，后透镜组包括第二、第三透镜，第一透镜为双凹型或平凹型负透镜，第二透镜为弯月型或平凹型负透镜，第三透镜为双凸型或平凸型正透镜；前透镜组和后透镜组共焦；衍射极限激光扩束系统对波长为355nm的激光光束的扩束倍率为5～6倍，输出光束接近衍射极限。本发明对各透镜进行上述设置，对波长为355nm的激光实现5～6倍扩束，输出光束接近衍射极限，提高了聚焦光斑的能量密度，并且该扩束系统适合在高功率激光加工设备使用，极大地提高了焦点处的能量密度，进而提高激光加工精度和加工效率。

主权项

一种衍射极限激光扩束系统，其特征在于，包括沿激光传输方向依次设置的前透镜组和后透镜组；所述前透镜组包括第一透镜，所述后透镜组包括第二透镜和第三透镜，所述第一透镜为双凹型或平凹型负透镜，所述第二透镜为弯月型负透镜，所述第三透镜为双凸型正透镜；所述前透镜组和后透镜组共焦构成伽利略望远镜系统结构；所述衍射极限激光扩束系统对波长为355nm的激光光束的扩束倍率为5～6倍，输出光斑达到衍射极限。