[发明专利]基于太赫兹时域光谱技术的厚度检测方法在审
| 申请号： | 201410454944.6 | 申请日： | 2014-09-09 |
| 公开（公告）号： | CN104180762A | 公开（公告）日： | 2014-12-03 |
| 发明（设计）人： | 凌东雄 | 申请（专利权）人： | 东莞理工学院 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 东莞市华南专利商标事务所有限公司 44215 | 代理人： | 刘克宽 |
| 地址： | 523808 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种基于太赫兹时域光谱技术的厚度检测方法，该方法在利用现有的探测和计算方法得出待检测物品的估算厚度值L后，进一步的利用该估算厚度值L提取主回波的折射率n0和一级回波的折射率n1，由于提取到的折射率n0和折射率n1受到估算厚度值L和实际厚度值L0的差值（即误差值）影响而存在数值差，因此利用折射率n0和折射率n1之间的差值即可推算出估算厚度值L和实际厚度值L0的差值，以此作为厚度修正值来对估算厚度值L进行修正，从而获得更高精度的检测结果。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 赫兹 时域 光谱 技术 厚度 检测 方法 | ||
【主权项】：
基于太赫兹时域光谱技术的厚度检测方法，包括：初步检测步骤：利用太赫兹时域光谱技术检测待测物体，依检测原理计算获得待测物体的估算厚度值L；其特征在于还包括：折射率提取步骤：记探测信号第一次透过待测物体的脉冲信号为主回波，记探测信号经待测物体内部反射两次后的第二个透射信号为一级回波，利用待测物体的估算厚度值L计算提取主回波的折射率n0和一级回波的折射率n1；误差补偿步骤：根据主回波的折射率n0和一级回波的折射率n1的差值来计算待测物体的实际厚度值L0与估算厚度值L之差值，即厚度修正值；利用厚度修正值补偿修正估算厚度值L仪获得实际厚度值L0。
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