[发明专利]电子敏感玻璃基板和光学电路，以及其中形成的微型结构在审
| 申请号： | 201410443636.3 | 申请日： | 2014-09-03 |
| 公开（公告）号： | CN104261673A | 公开（公告）日： | 2015-01-07 |
| 发明（设计）人： | 石以瑄;韩露;邱树农;吴杰欣;邱星星;石宇琦 | 申请（专利权）人： | 石以瑄;韩露;邱树农;邱星星;石宇琦 |
| 主分类号： | C03C3/085 | 分类号： | C03C3/085;C03C4/04;B81B7/02 |
| 代理公司： | 苏州市新苏专利事务所有限公司 32221 | 代理人： | 徐鸣 |
| 地址： | 加拿大魁北克省*** | 国省代码： | 加拿大;CA |
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| 摘要： | 本发明涉及一种电子敏感玻璃基板和基于该电子敏感玻璃基板且具有多个光波导的光学电路，以及该电子敏感玻璃基板中形成的微型结构。微型结构是由电子束照射在电子敏感玻璃上的所选区域并经高温热处理和化学蚀刻形成的，而光波导的形成则是由电子束照射在电子敏感玻璃基板上经一个较低温度热处理而成。 | ||
| 搜索关键词： | 电子 敏感 玻璃 光学 电路 以及 其中 形成 微型 结构 | ||
【主权项】：
一种电子敏感玻璃的基板，其特征在于：该电子敏感玻璃基板对电子束中的电子照射敏感，该基板包含至少以下几个主要组成成分：SiO2, Li2O, K2O, Al2O3, Na2O, ZnO, Ag2O, 以制作具有多个光波导和微腔结构的集成光学电路。
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