[发明专利]气静压平台有效
| 申请号： | 201410440312.4 | 申请日： | 2014-08-28 |
| 公开（公告）号： | CN104942610B | 公开（公告）日： | 2017-08-15 |
| 发明（设计）人： | 简国谕;陈彦廷 | 申请（专利权）人： | 财团法人金属工业研究发展中心 |
| 主分类号： | B23Q1/38 | 分类号： | B23Q1/38 |
| 代理公司： | 北京中原华和知识产权代理有限责任公司11019 | 代理人： | 寿宁,张华辉 |
| 地址： | 中国台湾高雄*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 本发明是有关于一种气静压平台，包含导轨及载台，该导轨的导槽具有第一侧面、第二侧面及槽底面，该第一侧面具有第一顶缘，该第二侧面具有第二顶缘，该第一顶缘及该第二顶缘之间形成有开口，该第一侧面及该第二侧面朝向该开口，该载台设置于该导槽，该载台具有第一安装部、第二安装部、第一气静压轴承及第二气静压轴承，该第一气静压轴承设置于该第一安装部，该第二气静压轴承设置于该第二安装部，该第一气静压轴承具有第一表面，该第一表面朝向该第一侧面，该第二气静压轴承具有第二表面，该第二表面朝向该第二侧面。本发明能使载台与导轨之间的组装较为便捷、快速，在气压的控制上较为简单且定位精度高，使得载台的平面度及移动精度可大幅提升。 | ||
| 搜索关键词： | 静压 平台 | ||
【主权项】：
一种气静压平台，其特征在于其包含：导轨，具有导槽，该导槽具有第一侧面、第二侧面及槽底面，该第一侧面及该槽底面之间具有第一夹角，该第二侧面及该槽底面之间具有第二夹角，该第一侧面具有第一顶缘，该第二侧面具有第二顶缘，该第一顶缘及该第二顶缘之间形成有开口，该第一侧面及该第二侧面朝向该开口；载台，设置于该导槽，该载台具有第一安装部、第二安装部、第一气静压轴承及第二气静压轴承，该第一气静压轴承设置于该第一安装部，该第二气静压轴承设置于该第二安装部，该第一气静压轴承具有第一表面，该第一表面朝向该第一侧面，该第二气静压轴承具有第二表面，该第二表面朝向该第二侧面；以及磁吸装置，该磁吸装置具有第一磁吸元件及第二磁吸元件，该第一磁吸元件设置于该导轨，该第二磁吸元件设置于该载台，且该第一磁吸元件及该第二磁吸元件之间具有间距。
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