[发明专利]一种可兼容不同尺寸基片和不同薄膜的磁控溅射镀膜夹具

摘要

本发明提供了一种磁控溅射镀膜夹具，属于磁控溅射镀膜设备领域。包括基片架1、卡盘2、销钉3，其特征在于，还包括设置在基片架1和卡盘2之间的中间级圆盘4，所述中间级圆盘4通过销钉3固定在基片架1上，所述中间级圆盘4上设置有螺孔10，所述卡盘2通过带螺母套的钩钉5固定在中间级圆盘4上，所述中间级圆盘4的内接正方形区域设置2～8×2～8的大小相同的螺孔，螺孔内有内螺纹，使用时根据基片的尺寸和形状选择螺孔固定卡盘。本发明提供的磁控溅射镀膜夹具可以满足不同尺寸、形状基片和不同的靶基距要求的镀膜需求。

主权项

一种磁控溅射镀膜夹具，包括基片架(1)、卡盘(2)、销钉(3)，其特征在于，还包括设置在基片架和卡盘之间的中间级圆盘(4)，所述中间级圆盘(4)通过销钉(3)固定在基片架(1)上，所述中间级圆盘(4)的内接正方形区域设置2～8×2～8个大小相同的螺孔(10)，螺孔内有内螺纹，所述卡盘(2)通过带螺母套的钩钉(5)固定在中间级圆盘(4)上，所述带螺母套的钩钉(5)包括螺母套(6)、钩钉(7)和弹簧(8)，所述钩钉(7)上有外螺纹，所述螺母套(6)内有内螺纹，所述螺母套内的内螺纹与所述钩钉上的外螺纹配合固定，所述螺母套上设置有螺纹头，所述螺纹头与中间级圆盘上螺孔内的内螺纹配合固定，所述弹簧在螺母套内，其一端固定在螺母套内部的顶端，另一端固定在钩钉的顶端，所述螺母套的纵向方向有开口，所述开口边缘处设置有刻度，可实现对靶基距的精确、连续控制。