[发明专利]一种表面微织构的检测方法

摘要

本发明为一种表面微织构的检测方法，针对尺寸在微米量级的表面微织构形貌，通过二维检测装置获得其三维尺寸。检测结果涵盖微织构形貌的深度、直径、截面轮廓、体积参数。具体步骤包括：通过二维检测装置获得微织构表面的一段轮廓曲线；将轮廓曲线数据导入计算机，经过除噪、分割、提取、插值和拟合处理后获得单个形貌三维曲面。本方法的检测结果是若干微织构形貌集中、均化的表现，反映了表面微织构工艺整体的加工质量。最终的有益效果是：降低表面微织构的检测设备要求，检测结果更为客观，检测效率大幅提升，适用于平面及圆柱内表面的表面微织构检测。

主权项

一种表面微织构的检测方法，其特征在于，包括如下步骤：A)针对沿行方向和列方向展开的微形貌（2）的阵列的微织构化表面（1），所述阵列的微形貌（2）在行方向的行间距（6）和列方向上的列间距（5）相同，行方向和列方向的夹角45°~90°；沿织构化表面上一条直线方向，通过二维表面检测装置获得一段沿所述直线方向对应的微形貌（2）的取样轮廓曲线，所述直线方向上包括大于等于三个在行方向或列方向连续排列微形貌（2）的截面轮廓，所述截面轮廓包含各微形貌（2）在所述直线方向上不同截面位置的轮廓信息；B)将步骤A）获得的取样轮廓曲线中的微形貌（2）的截面轮廓曲线提取出来，将上述截面轮廓曲线都视为一个微形貌（2）在不同截面下的轮廓曲线；C)由阵列微形貌（2）在行方向和列方向上的间距，确定步骤B）中的各截面轮廓曲线所在平面的间距；D)通过数学拟合的方法，由截面轮廓曲线反求获得一个微形貌（2）的三维空间尺寸，并以三维曲面的形式显示，积分求得反求微形貌的体积。