[发明专利]一种探针卡装置在审
| 申请号： | 201410412328.4 | 申请日： | 2014-08-20 |
| 公开（公告）号： | CN104155492A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 王靓;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067;G06K19/077;G06K17/00 |
| 代理公司： | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人： | 吴世华;林彦之 |
| 地址： | 201210 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 一种探针卡装置，在探针卡上有一个具有内螺纹的定位孔，且射频识别卡内置于一个非导电性材质的包装结构中，该包装结构有与探针卡上的内螺纹相配合的外螺纹，且在该包装结构的一端有适合扳手作业的螺栓头结构，以方便包装结构的固定、调整和更换；该探针卡上用螺纹固定内置有射频识别卡的包装结构，避免了晶圆电性测试时射频识别卡与探针卡上方设备的干涉，方便了射频识别卡的安装、调整和更换，同时也减少了因为外力而导致其脱落的问题，所以该装置降低了固定于探针卡上的射频识别卡的故障率，提高了RFID的应用范围，为探针卡基本信息的读写提供了保障。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 探针 装置 | ||
【主权项】：
一种探针卡装置，装有无线射频识别系统的射频识别卡，其特征在于，所述探针卡的射频识别卡安装位置处设有一个定位孔，所述定位孔内壁具有内螺纹，所述射频识别卡内置于一个非导电性材质的包装结构中，所述包装结构具有外螺纹，所述包装结构通过所述外螺纹与所述探针卡上的所述内螺纹相配合，以将所述射频识别卡固定于所述探针卡上。
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