[发明专利]快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器有效
| 申请号： | 201410403064.6 | 申请日： | 2014-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN104132745B | 公开（公告）日： | 2017-04-26 |
| 发明（设计）人： | 邓佩刚;秦自强;梅弘斌 | 申请（专利权）人： | 武汉工程大学 |
| 主分类号： | G01K7/18 | 分类号： | G01K7/18 |
| 代理公司： | 湖北武汉永嘉专利代理有限公司42102 | 代理人： | 许美红 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器，包括电源、精确电阻，以及感温部件；感温部件部分固定在固定部件上，固定部件为中间开孔的衬底片；感温部件包括多个弯折的测温铂薄膜电阻块，铂薄膜电阻块之间通过连接片连接，连接片部分固定在衬底片的中间孔边缘，多个铂薄膜电阻块和连接片串联形成环形悬于中间孔内；环形的感温部件的首尾通过导线与电源、精确电阻组成回路。本发明可以根据回路中感温部件中铂电阻随温度的变化来快速测量流体温度。 | ||
| 搜索关键词： | 快速 测温 纳米 铂电阻 温度传感器 | ||
【主权项】：
一种快速测温的微纳米级铂电阻温度传感器，其特征在于，包括电源、精确电阻，以及微纳米级的感温部件；感温部件部分固定在固定部件上，固定部件为中间开孔的衬底片；感温部件包括多个弯折的测温铂薄膜电阻块，测温铂薄膜电阻块之间通过连接片连接，连接片部分固定在衬底片的中间孔边缘，多个测温铂薄膜电阻块和连接片串联形成环形悬于中间孔内；环形的感温部件的首尾通过导线与电源、电阻组成回路；测温铂薄膜电阻块为弯折成折线形状的长方体铂电阻块，连接片为与测温铂薄膜电阻块采用同样加工工艺实现的长方体铂薄膜块，且厚度相同。
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