[发明专利]一种双频率太赫兹带通滤波器及其制作方法

摘要

本发明一种双频率太赫兹带通滤波器及其制作方法，具体指一种基于半绝缘砷化镓表面采用镂空的互补型开口谐振环单元的双频率太赫兹带通滤波器的设计与制作，涉及太赫兹技术和半导体微加工技术领域。本发明采用互补型开口环共振单元的工作原理，通过调整C‑SRR内径、外径、开口宽度、周期结构，实现表面等离子极化激元的共振，和电感‑电容(LC)共振两种异常透射增强的方式，获得低频和高频共振。利用上述两种共振的电磁相互作用实现两个共振频率之间能量转换，从而使两个波段上达到相同透射强度的太赫兹输出。本发明具有制备工艺简单、操作方便，可以精确控制互补型开口谐振环微结构加工区域，大大降低了制作成本。

主权项

一种双频率太赫兹带通滤波器，其特征在于，在0.6mm厚半绝缘砷化镓表面，采用标准半导体器件微加工工艺，导致表面等离子极化激元激发和电感‑电容共振两种物理过程共同作用，在不同频率上产生异常透射增强实现双频率THz带通滤波功能的单元周期为40μm、外径为16μm、内径为12μm、间隔是指镂空的互补型开口环共振单元中开口两端的间距宽度g在2μm到10μm的范围内变化的二维结构的周期性互补型开口环共振单元。