[发明专利]一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法无效
| 申请号： | 201410397783.1 | 申请日： | 2014-08-13 |
| 公开（公告）号： | CN104155477A | 公开（公告）日： | 2014-11-19 |
| 发明（设计）人： | 陈代谢;殷伯华;韩立;刘俊标;林云生;初明璋 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电工研究所 |
| 主分类号： | G01Q60/24 | 分类号： | G01Q60/24 |
| 代理公司： | 北京科迪生专利代理有限责任公司 11251 | 代理人： | 关玲 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法，所述的方法基于频谱分析方法，利用快速傅立叶变换(FFT)，将单频方波激励代替正弦波扫频，避免扫频过程对原子力声学显微镜成像速度的影响，实现原子力声学显微镜探针接触谐振频率的快速追踪。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 原子 声学 显微镜 探针 接触 谐振 频率 追踪 方法 | ||
【主权项】：
一种原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法，其特征在于，所述的原子力声学显微镜探针接触谐振频率追踪方法基于频谱分析方法，通过快速傅立叶变换，将单频方波激励代替正弦波扫频，实现原子力声学显微镜探针接触谐振频率的追踪。
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