[发明专利]基于硅基纳米线波导的片上集成光学数模转换器在审

专利信息
申请号: 201410394851.9 申请日: 2014-08-12
公开(公告)号: CN104133336A 公开(公告)日: 2014-11-05
发明(设计)人: 周平;杨林;丁建峰;张凡凡 申请(专利权)人: 中国科学院半导体研究所
主分类号: G02F7/00 分类号: G02F7/00
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 100083 *** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种基于硅基纳米线波导的片上集成光学数模转换器,包括N个激光器、一个调制复用一体结构,以及一个光电探测器,其中,该调制复用一体结构包含一条干线波导L0、N个级联的硅基纳米线波导微环谐振器(MRR1、MRR2、......MRRN)和N条弯曲波导(L1、L2、......LN),N个激光器分别与N个弯曲波导(L1、L2、......LN)的上载端相连接,光电探测器与干线波导L0的直通端相连接,N为自然数。利用本发明,充分发挥硅基波导结构紧凑、功耗低、与CMOS工艺兼容等优点,不仅可以解决DAC过程的高速、高分辨率问题,还可以解决光学DAC的集成化和小型化问题。
搜索关键词: 基于 纳米 波导 集成 光学 数模转换器
【主权项】:
一种基于硅基纳米线波导的片上集成光学数模转换器,其特征在于,该片上集成光学数模转换器包括N个激光器、一个调制复用一体结构,以及一个光电探测器,其中,该调制复用一体结构包含一条干线波导L0、N个级联的硅基纳米线波导微环谐振器(MRR1、MRR2、......MRRN)和N条弯曲波导(L1、L2、......LN),N个激光器分别与N个弯曲波导(L1、L2、......LN)的上载端相连接,光电探测器与干线波导L0的直通端相连接,N为自然数。
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