[发明专利]接触式位移计

摘要

本发明提供了接触式位移计。光投射单元以非平行光照射标尺。经过标尺上的多个狭缝的非平行光被光接收单元接收，并且输出表示光接收量分布的光接收信号。基于光接收信号，光接收量处于光接收单元上的光接收量分布中的最大值或最小值处的多个位置被检测为多个峰值位置。基于校正信息和检测到的多个峰值位置，来计算参考位置和与检测到的至少一个峰值位置相对应的至少一个狭缝的位置之间的距离。校正信息表示多个峰值位置之间的距离和标尺上分别与多个峰值位置相对应的多个狭缝之间的距离的关系。

主权项

1.一种接触式位移计，包括壳体、接触件、标尺、光投射单元、光接收单元、检测单元和计算单元，其特征在于：所述接触件以在一个方向上可移动的方式被所述壳体支撑；所述标尺具有在所述一个方向上排列的多个透光狭缝，并且被配置为与所述接触件一起在所述一个方向上可移动；所述光投射单元以非平行光照射所述标尺；所述光接收单元接收通过所述标尺上的所述多个透光狭缝的所述非平行光，并且输出表示光接收量分布的光接收信号；所述检测单元检测其中光接收量处于所述接收单元上的光接收量分布中的最大值或最小值处的多个位置作为多个峰值位置；所述计算单元基于由所述检测单元检测到的所述多个峰值位置以及校正信息，来计算参考位置和所述标尺上的所述多个透光狭缝中的与由所述检测单元检测到的至少一个峰值位置对应的至少一个透光狭缝的位置之间的距离，所述校正信息表示所述光接收单元上的光接收量分布中的多个峰值位置之间的距离和所述标尺上分别与所述多个峰值位置对应的多个透光狭缝之间的距离的关系，并且所述光投射单元和所述光接收单元设置在所述壳体中，使得所述光投射单元、所述标尺和所述光接收单元在与所述一个方向交叉的方向上排列。