[发明专利]一种小体积长光程的气体检测用光学腔体在审
申请号: | 201410386287.6 | 申请日: | 2014-08-07 |
公开(公告)号: | CN104111226A | 公开(公告)日: | 2014-10-22 |
发明(设计)人: | 李铁;刘延祥;王翊;王跃林 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01 |
代理公司: | 上海智信专利代理有限公司 31002 | 代理人: | 潘振甦 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种气体检测用光学腔体,由圆柱面反射镜1、平面反射镜2和平面反射镜4组成,其中平面反射经2和平面反射镜4分别位于圆柱面反射镜1上下两侧,入射光线不经过圆柱面反射镜1的中轴线,平面反射镜2或平面反射镜4中心设置台阶式气体交换孔3。本发明所述光学腔体中光源发出的光经反射镜n次反射后到达探测器接收面,大大增加了光程,实现了小体积长光程,可广泛应用于各种光学气体传感器。 | ||
搜索关键词: | 一种 体积 光程 气体 检测 用光 学腔体 | ||
【主权项】:
一种气体检测用光学腔体,其特征在于所述的腔体是由一个圆柱面反射镜和两个平面反射镜组成,其中两个平面反射镜分别位于圆柱面反射镜上、下两侧,入射光纤不经过圆柱面反射镜的中心,两个平面反射镜的中心设置台阶式气体交换孔;探测器轴线与光源轴线相交于圆柱面反射镜的内部。
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