[发明专利]混合型光学积分器组件及其光学系统

摘要

本发明涉及一种混合型光学积分器组件及其光学系统，其包括光学积分器，其中，还包括设于光学积分器任一横截面上的对所穿过的光束进行散射处理的散射件。本发明能在满足一定照射均匀度的前提下，缩小光学积分器的处理路径，使得光学积分器的尺寸更小；另外，利用此带有散射件的光学积分器，即带有混合型光学积分器组件的光学系统，能有效减小整机的尺寸，使得整机更为轻巧。

主权项

一种混合型光学积分器组件的光学系统，包括位于同一主光轴方向上的光源组件、混合型光学积分器组件及花样组件，所述混合型光学积分器组件包括光学积分器及设于光学积分器任一横截面上的对所穿过的光束进行散射处理的散射件；所述混合型光学积分器组件能够由移动驱动机构移入或移出光源组件与花样组件之间的光路；在所述混合型光学积分器组件被移入的情况下，所述光源组件发出聚光光束，并经由混合型光学积分器组件进行匀化后进入花样组件后射出；在所述混合型光学积分器组件被移出的情况下，所述光源组件发出聚光光束，光束直接进入花样组件后射出。