[发明专利]一种压差式密封电极有效
| 申请号： | 201410369412.2 | 申请日： | 2014-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN104141791B | 公开（公告）日： | 2018-06-12 |
| 发明（设计）人： | 陈生贩;江裕捺;陈生镇;田晓东 | 申请（专利权）人： | 上海宝镀真空设备科技有限公司 |
| 主分类号： | F16J15/02 | 分类号： | F16J15/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201611 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种压差式密封电极，包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、第一密封圈、内密封套、第二唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述第一密封圈设置在内密封套内，所述第二唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。本发明通过真空舱体内外的压差作为动力，保证电极顶夹坩埚的所需的作用力，解决了顶夹坩埚受力的要求，同时解决了开舱排除故障的成本和麻烦。 | ||
| 搜索关键词： | 锁紧装置 电极 外部电极 墙板 密封圈 唇形密封圈 压差式密封 内密封套 墙板连接 弹簧 挡圈 钢圈 下端 坩埚 室内 排除故障 真空舱 外部 顶夹 受力 压差 体内 保证 | ||
【主权项】：
一种压差式密封电极，其特征在于：包括大气外部电极、大气侧锁紧装置、第一密封圈、内密封套、第二唇形密封圈、钢圈挡圈弹簧、墙板、真空室内电极、真空内部锁紧装置和真空外部锁紧装置，所述大气外部电极上设有钢圈挡圈弹簧，所述大气侧锁紧装置与墙板连接，所述第一密封圈设置在内密封套内，所述第二唇形密封圈固定在墙板上，所述真空室内电极与大气外部电极连接，所述真空内部锁紧装置下端安装在墙板内，所述真空外部锁紧装置设置在大气侧锁紧装置内，下端与墙板连接。
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