[发明专利]一种支撑座及支撑装置

摘要

本发明涉及一种基板支撑装置，包括支撑销及支撑座。其中所述支撑销包括第一侧顶面、与所述顶第一侧面相对的第二侧底面、连接所述顶第一侧面以及底第二侧面的外环面，所述支撑销开设有通气孔，所述通气孔由所述顶第一侧面通向所述底第二侧面。通过本发明支撑装置实施例中的支撑销及支撑座可以减小在承载基板过程中的基板与支撑销或支撑座之间的摩擦，从而降低基板在生产过程中被刮伤的风险。

主权项

一种支撑装置，其特征在于，包括：多个支撑座，所述支撑座包括基座和多个支撑销，所述基座开设有多个通孔；所述支撑销包括顶部与主体部，所述顶部具有一顶面，所述主体部具有与所述顶面相对的底面、连接所述顶面以及所述底面的侧面，所述支撑销开设有通气孔，所述通气孔由所述顶面通向所述底面或所述侧面；多个所述支撑销固定在所述基座上，每个所述支撑销对应一个所述通孔，且每个所述支撑销上的所述通气孔与所述通孔相互连通,所述支撑销的主体部内设置有内陷孔，所述内陷孔与所述通气孔相互连通；气体供给装置，用于由所述基座的通孔向所述支撑销的通气孔通气,所述气体供给装置包括多个通气管，所述通气管穿过所述基座上的所述通孔后与所述支撑销的内陷孔相连通；以及夹臂，所述支撑座的两侧均设置有所述夹臂，所述夹臂相互靠拢夹住基板，并移动所述夹臂定位所述基板。