[发明专利]一种LED用高效散热陶瓷基板的制作方法有效
| 申请号： | 201410352076.0 | 申请日： | 2014-07-23 |
| 公开（公告）号： | CN104086223A | 公开（公告）日： | 2014-10-08 |
| 发明（设计）人： | 谭彬;兰育辉 | 申请（专利权）人： | 湖南元素密码石墨烯研究院（有限合伙） |
| 主分类号： | C04B41/85 | 分类号： | C04B41/85;C04B41/88;H01L33/64 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 410000 湖*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 一种LED用高效散热陶瓷基板的制作方法，包括以下步骤：（1）选用表面吸附分布密度为5%~90%石墨烯粉体的陶瓷基板作为加工基材，并抽高真空至真空度＞4.0×10E-3Pa；（2）以惰性气体或反应气体或二者的混合气体作为载气，在真空度为1.0×10E-1Pa以上的工作真空环境下，采用沉积法将至少一种材料薄膜沉积于吸附在陶瓷基板上的石墨烯粉体与陶瓷基板的表面，沉积温度为25~125℃，沉积时间为1200~5000秒。本发明所制得的陶瓷基板的导热系数>800~3600W/(m·K)，既满足导热性好同时又绝缘性好，适用于各种半导体芯片的散热基片。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 led 高效 散热 陶瓷 制作方法 | ||
【主权项】：
一种LED用高效散热陶瓷基板的制作方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）抽高真空：选用表面吸附分布密度为5%~90%石墨烯粉体的陶瓷基板作为加工基材，并抽高真空至真空度＞4.0×10E‑3Pa；（2）薄膜沉积：以惰性气体或反应气体或二者的混合气体作为载气，在真空度为1.0×10E‑1Pa以上的工作真空环境下，采用沉积法将至少一种材料薄膜沉积于吸附在陶瓷基板上的石墨烯粉体与陶瓷基板的表面，沉积温度为25~125℃，沉积时间为1200~5000秒，得到LED用高效散热陶瓷基板。
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