[发明专利]一种气体冷却设备及高温操作系统有效
| 申请号： | 201410330365.0 | 申请日： | 2014-07-11 |
| 公开（公告）号： | CN104110969A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 余威 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | F27D17/00 | 分类号： | F27D17/00;F23J15/06;H01L51/56 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种气体冷却设备，其包括：冷媒介存储装置，其内设置有预设温度的冷媒介；冷却处理装置，设置在所述冷媒介存储装置内，通过所述冷媒介对高温气体进行冷却处理；其中所述冷却处理装置包括进气端和出气端；以及脱水装置，设置在所述冷却处理装置的进气端，用于对所述高温气体进行脱水处理。本发明通过在气体冷却设备上增加一脱水装置，能够对高温气体进行脱水处理，解决了现有的高温炉排出的较低温度的高温气体中的水进入冷却处理装置，导致压力升高以及石英卡夹易破碎的技术问题，从而提高生产效率、降低生产成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 气体 冷却 设备 高温 操作系统 | ||
【主权项】：
一种气体冷却设备，其特征在于，包括：冷媒介存储装置，其内设置有预设温度的冷媒介；冷却处理装置，设置在所述冷媒介存储装置内，通过所述冷媒介对高温气体进行冷却处理；其中所述冷却处理装置包括进气端和出气端；以及脱水装置，设置在所述冷却处理装置的进气端，用于对所述高温气体进行脱水处理。
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