[发明专利]具有拉曼光谱能力的带电粒子显微镜有效
| 申请号： | 201410321370.5 | 申请日： | 2014-07-08 |
| 公开（公告）号： | CN104280377B | 公开（公告）日： | 2018-06-22 |
| 发明（设计）人： | J.J.L.穆伯图斯;L.奎佩斯 | 申请（专利权）人： | FEI公司 |
| 主分类号： | G01N21/65 | 分类号： | G01N21/65;G01N23/00;H01J37/26 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;徐红燕 |
| 地址： | 美国俄*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 公开了一种具有拉曼光谱能力的带电粒子显微镜。一种使用组合带电粒子显微镜和拉曼光谱仪来检查样本的方法，由此：所述显微镜用一束带电粒子来照射样本，从而对样本的区域进行成像；所述光谱仪采用宽度D的光斑来辐射地刺激并光谱地分析样本的一部分，该方法包括以下步骤：使用带电粒子显微镜来识别所述区域中的感兴趣特征；将由拉曼光谱仪分析的所述部分选择成包括此特征，其中：所述特征具有小于D的至少一个横向尺寸；在使用拉曼光谱仪来分析所述特征之前，使用原地表面改性技术来引起来自所述特征的预期拉曼信号相对于来自除所述特征之外的所述部分的预期拉曼信号的积极性差别。 | ||
| 搜索关键词： | 带电粒子 显微镜 拉曼光谱仪 样本 拉曼光谱 拉曼信号 表面改性技术 感兴趣特征 光谱仪 光斑 分析 光谱 成像 照射 辐射 刺激 检查 | ||
【主权项】：
1.一种使用组合带电粒子显微镜和拉曼光谱仪来检查样本的方法，由此：—所述显微镜用一束带电粒子来照射样本，从而对样本的区域进行成像；—所述光谱仪采用宽度D的光斑来辐射地刺激并光谱地分析样本的一部分，该方法包括以下步骤：—使用带电粒子显微镜来识别所述区域中的感兴趣的特征；—将由拉曼光谱仪分析的所述部分选择成包括所述感兴趣的特征，其中：—所述感兴趣的特征具有小于D的至少一个横向尺寸；—在使用拉曼光谱仪来分析所述感兴趣的特征之前，使用原地表面改性技术来引起来自所述感兴趣的特征的预期拉曼信号相对于来自除所述感兴趣的特征之外的所述部分的预期拉曼信号的积极性差别。
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