[发明专利]一种测定薄膜材料屈服行为的装置及其测定方法

摘要

本发明公开了一种测定薄膜材料屈服行为的装置及其测定方法，属于材料科学技术领域，包括下基板和沉积于下基板上表面的待测薄膜，在待测薄膜的一侧设有压电传感器，压电传感器由沉积在待测薄膜一侧侧壁上的压电材料层及沉积在压电传感材料层上、下表面的铂电极层组成；所述下基板的长度大于待测薄膜的长度。本发明装置结构简单、紧凑，使用方便，本发明方法能够直接采集原始的信号，避免了使用波导，从而利于后续分析，且测试工艺简单易行。

主权项

一种在线被动检测薄膜材料屈服行为的方法，其特征在于，包括以下步骤：1)在底部设有基板的待测薄膜的一侧侧壁上沉积金属铂作为一侧电极，然后在该金属铂上沉积压电材料层，最后在压电材料层的上表面沉积另一层金属铂作为另一侧电极，压电材料层和压电材料层上、下表面的金属铂层形成压电传感器，然后通过导线将金属铂层与外接的信号分析装置相连；其中，基板的长度大于待测薄膜的长度，且压电传感器位于基板长出待测薄膜的一侧；2)当待测薄膜在使役过程中受到环境外力作用时，压电传感器检测待测薄膜内部形成畴结构时所产生的声发射信号，根据该声发射信号判断得到待测薄膜的屈服点。