[发明专利]纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法有效
| 申请号： | 201410315008.7 | 申请日： | 2014-07-03 |
| 公开（公告）号： | CN104155480B | 公开（公告）日： | 2017-02-15 |
| 发明（设计）人： | 邢珍相;李晓旻 | 申请（专利权）人： | 胜科纳米（苏州）有限公司 |
| 主分类号： | G01Q70/16 | 分类号： | G01Q70/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙)31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 215123 江苏省苏州市工业园区*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种纳米探针半成品加工装置及纳米探针制作方法中，利用本发明所提供的纳米探针半成品加工装置，使得纳米探针半成品一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中，之后调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度，利用温度梯度的原理，影响纳米探针半成品不同部位的腐蚀速度，从而制作出符合实际应用的纳米探针，本发明所提供的纳米探针制作方法操作简单，大大降低了生产成本，且可实现批量生产。 | ||
| 搜索关键词： | 纳米 探针 半成品 加工 装置 制作方法 | ||
【主权项】：
一种纳米探针制作方法，其特征在于，包括：提供纳米探针半成品加工装置及纳米探针半成品；所述纳米探针半成品加工装置包括：恒温槽、设置于所述恒温槽上方的导热金属板；其中，所述导热金属板上设置有固定纳米探针半成品的固定元件；所述恒温槽中装有化学腐蚀液；将纳米探针半成品的一端固定在导热金属板上，另一端浸泡入化学腐蚀液中；调整纳米探针半成品浸泡入化学腐蚀液中的浸泡深度；调控化学腐蚀液的温度及导热金属板的温度，使导热金属板的温度高于化学腐蚀液一预定温度；调控所述预定温度，直至纳米探针半成品的针尖细度满足实际应用的要求。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于胜科纳米（苏州）有限公司，未经胜科纳米（苏州）有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410315008.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
