[发明专利]表面发射激光器及使用其的光学相干层析测量设备有效
申请号: | 201410302248.3 | 申请日: | 2014-06-27 |
公开(公告)号: | CN104253376B | 公开(公告)日: | 2017-10-13 |
发明(设计)人: | 长友靖浩 | 申请(专利权)人: | 佳能株式会社 |
主分类号: | H01S5/183 | 分类号: | H01S5/183 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人: | 欧阳帆 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及表面发射激光器以及使用表面发射激光器的光学相干层析测量设备。可操作为改变发射光的波长的表面发射激光器包括第一反射镜、第二反射镜、在腔内形成的有源层、在腔内形成的区域和位于该区域内的可移动部分,其中腔沿着表面发射激光器的光轴形成于第一反射镜和第二反射镜之间,可移动部分具有与所述区域的折射率不同的折射率。通过在所述区域内改变可移动部分的沿着光轴的方向的位置能改变发射光的波长。 | ||
搜索关键词: | 表面 发射 激光器 使用 光学 相干 层析 测量 设备 | ||
【主权项】:
一种表面发射激光器,可操作为改变发射光的波长,所述表面发射激光器包括:第一反射镜;第二反射镜,其中腔沿着表面发射激光器的光轴形成于第一反射镜和第二反射镜之间;在所述腔内形成的有源层;在所述腔内形成的区域;以及位于所述区域内的可移动部分,所述可移动部分具有与所述区域的折射率不同的折射率;其中能通过在不改变第一反射镜与第二反射镜(100)之间的距离的情况下在所述区域中改变所述可移动部分的沿着光轴的方向的位置来改变发射光的波长;以及其中形成于第一反射镜和第二反射镜之间的腔长度为10个波长或更少,1个波长是表面发射激光器可发射的光的波长范围的中心波长。
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