[发明专利]在薄聚合物膜上连续制造数字微米尺度图案有效

专利信息
申请号: 201410298767.7 申请日: 2014-06-26
公开(公告)号: CN104290317B 公开(公告)日: 2018-06-05
发明(设计)人: D·M·约翰逊;A·R·沃尔克尔;J·S·帕施科维茨 申请(专利权)人: 帕洛阿尔托研究中心公司
主分类号: B29C59/04 分类号: B29C59/04;B29C59/10;B81C1/00
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人: 郑冀之;陈岚
地址: 美国加利*** 国省代码: 美国;US
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摘要: 涂覆机构将液体(例如聚合物)薄膜设置在通过适当马达驱动的传送器表面(例如,滚轮或带)上,以将薄膜传送到精确受控间隙(或辊隙)区域中,其中施加的电势产生引起液体经过电流体动力(EHD)图案化变形的电场,从而液体形成图案化微米尺度特征。固化机构(例如UV激光)被用于在间隙区域内部或刚离开间隙区域之后固化(例如交联)图案化液体特征,从而形成由作为片材一部分的中间网状件连接或分成离散微米尺度结构的微米尺度图案化结构。设置在液体中的纳米结构(例如纳米管或纳米线)在EHD图案化处理期间变成竖直取向。分段电极和图案化电荷被用于提供数字图案化控制。
搜索关键词: 微米尺度 图案化 间隙区域 薄膜 薄聚合物膜 传送器表面 电流体动力 图案化处理 图案化结构 电场 电势产生 分段电极 固化机构 连续制造 马达驱动 纳米结构 竖直取向 数字图案 涂覆机构 液体形成 电荷 聚合物 变形的 纳米管 纳米线 网状件 辊隙 滚轮 交联 片材 受控 固化 激光 施加 图案
【主权项】:
一种用于制造微米尺度图案化结构的系统,所述系统包括:第一传送器,所述第一传送器具有被约束为沿第一路径移动的第一表面;第二传送器,所述第二传送器具有被约束为沿第二路径移动的第二表面,所述第一路径和所述第二路径布置成使得在所述第一表面和所述第二表面之间限定的最小距离发生在间隙区域中;用于使所述第一传送器和所述第二传送器以匹配速度移动的装置,以使得所述第一表面的第一表面区域与所述第二表面的相应第二表面区域基本同时地经过所述间隙区域;用于将可固化液体薄膜设置在所述第一表面区域上的装置,以使得当所述第一表面区域定位在所述间隙区域上游时所述可固化液体薄膜的第一部分设置在所述第一表面区域上;用于在所述第一传送器和所述第二传送器之间产生电场的装置,以使得在所述第一表面区域通过所述间隙区域过程中设置在所述第一表面区域上的液体薄膜的所述第一部分经历电流体动力(EHD)图案化变形,从而所述第一部分形成具有微米尺度图案化形状的图案化液体特征;和用于固化所述图案化液体特征以形成具有所述微米尺度图案化形状的固体微米尺度图案化结构的装置,其中所述用于设置所述可固化液体薄膜的装置包括用于形成液体聚合物薄膜的装置,其纳米结构以初始取向分散在所述液体聚合物薄膜中,以及其中所述用于产生电场的装置包括相对于所述微米尺度图案化结构中的所述第一表面大致竖直取向地对齐所述纳米结构的装置。
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