[发明专利]一种晶片环保抛光剂在审
| 申请号： | 201410296831.8 | 申请日： | 2014-06-28 |
| 公开（公告）号： | CN104059546A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：醚乙酸钠8-12份，烷基二甲基甜菜碱2-7份，乙烯基双硬脂酰胺23-31份，硬脂酸单甘油酯5-13份，水杨酸盐5-8份，表面活性剂1-3份，抗氧剂3-7份，氧化镁7-16份，二氧化氯6-14份，酸酐3-9份，除油粉6-13份，滑石粉9-16份，硬脂酸锌4-6份，盐酸2-4份，硫氰酸盐11-13份，PH调节剂1-3份。本发明的有益效果是：配方简单、制作容易，其可在半导体加工的化学成膜和机械去膜的交替过程中实现超精密表面加工，从而达到平坦化的目的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 晶片 环保 抛光 | ||
【主权项】：
一种晶片环保抛光剂，其特征在于，包括下列重量份数的物质：醚乙酸钠8‑12份，烷基二甲基甜菜碱2‑7份，乙烯基双硬脂酰胺23‑31份，硬脂酸单甘油酯5‑13份，水杨酸盐5‑8份，表面活性剂1‑3份，抗氧剂3‑7份，氧化镁7‑16份，二氧化氯6‑14份，酸酐3‑9份，除油粉6‑13份，滑石粉9‑16份，硬脂酸锌4‑6份，盐酸2‑4份，硫氰酸盐11‑13份，PH调节剂1‑3份。
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