[发明专利]一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法

摘要

本发明涉及一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统及方法，属于光电技术检测领域，所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成；本发明基于环形扫描斜率提取的非球面面形测量，无需补偿器，动态范围大，精度高，其研究成果可用于主镜初抛阶段的检测，解决相关技术瓶颈，具有重要的工程应用价值和现实意义。

主权项

一种基于环形扫描斜率提取非球面面形测量系统，其特征在于：所述测量系统包括激光器、扩束系统透镜组、刻蚀不透明点的平面透镜、成像CCD和一维电控移动台构成；测量系统放置在被测非球面镜的曲率中心附近，激光器发出的光经过扩束后经透镜组汇聚到平面透镜的外表面，光束汇聚到平面透镜的外表面时形成无像差点，在汇聚点的旁边刻蚀了很小的一个点，与光束聚焦点偏离毫米量级，刻蚀点微米大小；点光源发出的光，照射到被测非球面镜会反射回来，沿着镜面法线入射的光线会沿原光路返回，使点光源微小偏离光轴，镜面法线环带的光线会汇聚到被刻蚀的点上；镜面法线环带的光线被阻挡，其它环带的光没有被阻挡，则在成像CCD上可以看到镜面上法线处为一圈暗环；通过分析镜面成像的光强图，读出对应环带一维电控移动平台移动的距离，计算出环带的斜率，再通过对斜率积分得到被测非球面的面形。