[发明专利]一种非球面镜二次常数测量方法

摘要

本发明涉及一种非球面镜二次常数测量方法，属于光电技术检测领域。本测量方法在立式干涉仪内进行，主要测量中心无孔的非球面镜二次常数和顶点曲率半径。该方法首先利用干涉仪找到被测镜面的猫眼位置作为干涉仪初始的位置，然后沿光轴竖直移动干涉，提取干涉仪零条纹的像素半径，由标定的畸变计算出镜面上实际的半径。再由对应的移动距离根据公式算出被测镜面的二次常数和顶点的曲率半径。此方法结构简单，使用灵活，精度高。

主权项

一种非球面镜二次常数测量方法，其特征在于：步骤如下：(a)找猫眼调整干涉仪使标准镜头的焦点对准镜面的顶点位置附近，找到干涉仪的猫眼位置，根据测距干涉仪记录下此时干涉仪的位置坐标，作为干涉仪的初始坐标位置；(b)标定畸变在被测镜面上标记好间隔已知的等间距点，将干涉仪移至被测镜面顶点的曲率中心附近，根据干涉仪的成像图像找到像素坐标与镜面标记坐标的对应关系；(c)提取干涉条纹质心向上移动干涉仪镜面干涉零条纹逐渐向外扩展，由里向外依次提取每环干涉零条纹的质心，根据标定的畸变计算出干涉条纹对应镜面的实际半径；(d)计算结果记录每次移动干涉仪采取零条纹对应的位置坐标，根据初始坐标的位置计算出每个零条纹对应的距离；最后由测量得到的干涉零条纹半径和测得的对应距离计算出被测镜面的顶点曲率半径和二次常数；所述方法只能针对中心无孔的近似抛物面的双曲面和椭球面进行测量；所述方法只能在带有测距干涉仪的立式干涉仪内进行。