[发明专利]一种抗氧化的抛光液在审
| 申请号： | 201410292070.9 | 申请日： | 2014-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN104046269A | 公开（公告）日： | 2014-09-17 |
| 发明（设计）人： | 范向奎 | 申请（专利权）人： | 青岛宝泰新能源科技有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种抗氧化的抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：山梨醇5-10份，聚丙烯2-8份，水杨酸钠2-6份，醋酸钠20-35份，多聚甲醛4-6份，硫酸镁1-3份，硫酸铜3-8份，硫酸1份，氯化钠5-10份，玻璃质1-9份，焦磷酸钠2-7份，氯化铝1-3份，硼酸钠2-4份，片层结构的云母粉2-3份，空心玻璃微珠1-2份。本发明的化学机械抛光液可抑制低介电材料的抛光速率，而对铜和二氧化硅的去除速率影响不大，同时可减少被抛光材料的表面污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 氧化 抛光 | ||
【主权项】：
一种抗氧化的抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：山梨醇5‑10份，聚丙烯2‑8份，水杨酸钠2‑6份，醋酸钠20‑35份，多聚甲醛4‑6份，硫酸镁1‑3份，硫酸铜3‑8份，硫酸1份，氯化钠5‑10份，玻璃质1‑9份，焦磷酸钠2‑7份，氯化铝1‑3份，硼酸钠2‑4份，片层结构的云母粉2‑3份，空心玻璃微珠1‑2份。
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