[发明专利]基于闪耀光栅的法布里‑珀罗THz波长测量仪及其测量方法

摘要

本发明公开了一种基于闪耀光栅的法布里‑珀罗THz波长测量仪及其测量方法，该测量仪包括输入端镜片、半反半透镜、闪耀光栅与THz功率计；输入端镜片的输入端面镀有THz波段增透膜，半反半透镜为输入端面镀THz波段增透膜的石英镜片，输入端镜片与腔轴线成40‑50°角，半反半透镜与腔轴线垂直，闪耀光栅设置在电动角位移平台上，通过电动角位移平台来调整闪耀光栅在水平方向上的摆转角度，由半反半透镜与闪耀光栅构成F‑P腔，THz功率计设置在能够接收到由输入端镜片内面反射的THz波的位置上。本发明通过调整闪耀光栅的水平摆转角度来实现波长的选择振荡，能够准确测量较大范围的THz波长。

主权项

一种基于闪耀光栅的法布里‑珀罗THz波长测量仪的测量方法，所述法布里‑珀罗THz波长测量仪包括输入端镜片、半反半透镜、闪耀光栅与THz功率计；输入端镜片的输入端面镀有THz波段增透膜，半反半透镜为输入端面镀THz波段增透膜的石英镜片，上述输入端镜片设置在光学平台上，与腔轴线成40‑50°角，并且其摆放角度能够在水平方向上作出调整，半反半透镜设置在光学平台上，与腔轴线垂直，闪耀光栅设置在位于光学平台上的电动角位移平台上，通过电动角位移平台来调整闪耀光栅在水平方向上的摆转角度，由半反半透镜与闪耀光栅构成F‑P腔，THz功率计设置在能够接收到由输入端镜片内面反射的THz波的位置上；其特征在于所述测量方法包括以下步骤：a用He‑Ne激光对输入端镜片和闪耀光栅进行准直，使输入端镜片和闪耀光栅平行；将待测THz波射入输入端镜片，驱动电动角位移平台携带闪耀光栅水平摆转进行扫描，直至THz功率计出现示数；b接着，反复驱动电动角位移平台，在找到THz功率计所对应的最大示数位置时，记录此时闪耀光栅的水平摆转角度，该水平摆转角度等于入射光线与光栅法线的夹角i，根据公式λL＝2d sin i计算出所测波长，d为光栅常数；c重复步骤b，将多次测得的波长加权平均，得到所测波长。