[发明专利]一种防腐设备抛光液在审
| 申请号： | 201410279087.0 | 申请日： | 2014-06-22 |
| 公开（公告）号： | CN104059540A | 公开（公告）日： | 2014-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张昊亮 | 申请（专利权）人： | 青岛祥海电子有限公司 |
| 主分类号： | C09G1/02 | 分类号： | C09G1/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 266000 山东省青*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种防腐设备抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：氯化钠4-13份，脂肪醇硫酸钠9-17份，纳米有机蒙脱土4-10份，硬脂酸盐1-7份，聚乙烯醇10-15份，云母粉9-10份，水杨酸钠14-23份，多聚甲醛1-3份，硫酸银1-2份，硫酸铜1-2份，分子筛9-13份，硅藻土8-10份，硼酸钠3-10份，甲基硅油4-9份，空心玻璃微珠1-2份。本发明的化学机械抛光液可抑制低介电材料的抛光速率，而对铜和二氧化硅的去除速率影响不大，同时可减少被抛光材料的表面污染物。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 防腐设备 抛光 | ||
【主权项】：
一种防腐设备抛光液，其特征在于，包括下列重量份数的物质：氯化钠4‑13份，脂肪醇硫酸钠9‑17份，纳米有机蒙脱土4‑10份，硬脂酸盐1‑7份，聚乙烯醇10‑15份，云母粉9‑10份，水杨酸钠14‑23份，多聚甲醛1‑3份，硫酸银1‑2份，硫酸铜1‑2份，分子筛9‑13份，硅藻土8‑10份，硼酸钠3‑10份，甲基硅油4‑9份，空心玻璃微珠1‑2份。
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