[发明专利]一种纳米精度的电化学刻蚀加工方法

摘要

本发明公开了一种纳米精度的电化学刻蚀加工方法，其包括如下步骤：在模板电极或工件表面固定一层氧化还原水合凝胶聚合物超薄膜；将模板电极和工件浸入工作溶液，叠放于容器底部，使模板电极表面和工件表面分别与软质聚合物超薄膜的两面保持自然紧密接触；另在容器内设辅助电极和参比电极，并与电化学控制仪相连；启动电化学控制仪，调控模板电极的电位，电化学氧化超薄膜中的电化学活性基团，由其快速地化学氧化与之接触的工件表面夺取电子，而工件表面失去的电子被超薄膜慢速地传递至模板电极，使刻蚀持续进行；刻蚀完毕后，关闭电化学控制仪，移开模板电极，即可。本方法能以纳米精度将模板电极表面微结构图案的互补结构刻蚀加工在工件表面。

主权项

纳米精度的电化学刻蚀加工方法，包括如下步骤：(I)在模板电极表面或工件表面固定一层含有电化学活性基团的水合凝胶聚合物超薄膜；(II)将模板电极和工件浸入工作溶液，叠放于容器底部，利用模板电极或工件的自重，使模板电极表面和工件表面分别与软质超薄膜的两面保持自然紧密接触；(III)以模板电极为电化学工作电极，另在容器内设辅助电极和参比电极，并与电化学控制仪相连；启动电化学反应控制仪，调控模板电极的电位，电化学氧化聚合物超薄膜中的电化学活性基团，由其快速地化学氧化与之接触的工件表面夺取电子，而工件表面失去的电子再由超薄膜慢速地传递至模板电极，使刻蚀持续进行；(IV)通过调控刻蚀电位、时间、电量、电流、电流密度等工艺参数，精确控制刻蚀的过程和终点，实现纳米尺度和精度的加工。