[发明专利]光学元件面形检测均匀支撑装置

摘要

本发明公开了一种光学元件面形检测均匀支撑装置，属于光学元件面型检测领域。本发明的支撑装置，包括活动球头活塞支撑、直线轴承、壳体和底座；壳体固定在底座上并与底座构成腔体，壳体上设有按圆周均布且与腔体贯通的多个安装孔，每个安装孔的内壁上均设定有直线轴承且均放置有一个活动球头活塞支撑；活动球头活塞支撑包括支撑体、圆球以及活塞；直线轴承限制活动球头活塞支撑沿轴向运动；腔体内存在流体且流体处于密封状态，流体通过压力推动活塞，使活动球头活塞支撑沿轴向运动，提供对光学元件的支撑力。该装置适用于平面、球面以及非球面光学元件的面型检测需求，极大减小检测工装引入的像散，保证了光学元件面型检测的高精度。

主权项

光学元件面型检测均匀支撑装置，其特征在于，包括活动球头活塞支撑(2)、直线轴承(3)、壳体(4)和底座(5)；所述壳体(4)固定在底座(5)上并与底座(5)构成腔体，壳体(4)上设有按圆周均布且与腔体贯通的多个安装孔(4‑1)，每个安装孔(4‑1)的内壁上均设定有直线轴承(3)且每个安装孔(4‑1)内均放置有一个活动球头活塞支撑(2)；所述活动球头活塞支撑(2)包括支撑体(2‑4)，通过可自由滚动的圆珠与支撑体(2‑4)顶部连接的圆球(2‑1)以及固定在支撑体(2‑4)底部的活塞(2‑2)，所述圆球(2‑1)与光学元件的底部接触；所述直线轴承(3)限制活动球头活塞支撑(2)沿轴向运动，所述轴向为多个安装孔(4‑1)形成的圆周的中心轴；所述腔体内存在流体且流体处于密封状态，流体通过压力推动活塞(2‑2)，使活动球头活塞支撑(2)沿轴向运动，提供对光学元件的支撑力。