[发明专利]一种取向热敏薄膜电阻的制备方法

摘要

本发明涉及一种取向热敏薄膜电阻的制备方法，该方法将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝为原料，分别溶解在冰醋酸和乙二醇甲醚中，得到纯清溶液，通过旋涂法沉积在（100）取向的镍酸镧基底上，预处理挥发有机物，多次重复旋涂得到所需膜厚，经过最终热处理，得到取向热敏薄膜，制备电极得到热敏电阻。由于取向薄膜相对普通薄膜具有更高的晶粒有序排列，不但能够满足电子设备结构的微型化、集成化及高温环境使用的要求，而且能在实际应用中满足器件的更快响应的需求。

主权项

一种取向热敏薄膜电阻的制备方法，其特征在于按下列步骤进行：a、将硝酸镧、乙酸锰和硝酸铝作原料，分别溶解在冰醋酸中和乙二醇甲醚中，其中冰醋酸与乙二醇甲醚的体积比为1:1，然后在温度60‑90℃下，搅拌,待溶解完毕，停止加热,冷却至室温；b、再将步骤a中三种溶液混合，继续搅拌6h，调制成浓度为0.05‑0.2mol/L溶液，过滤，静置8h，形成锰铝酸镧溶胶；c、利用旋涂法，室温下将步骤b锰铝酸镧溶胶滴在（100）取向的镍酸镧基底上，在匀胶机上匀胶20s,转速为3500r/min，然后在管式炉内保持3min，处理温度为300℃，挥发薄膜中的有机物，重复匀胶制膜，得到150‑1500nm厚度的薄膜；d、将步骤c获得的薄膜在温度750℃下静置处理1h，得到均匀的取向热敏薄膜，然后在离子溅射仪上溅射金电极，温度200℃下静置10min，再焊接Pt引线，即可得到薄膜热敏电阻。