[发明专利]一种用于靶点焦斑整形和光束匀滑的激光设备

摘要

本发明公开了一种用于靶点焦斑整形和光束匀滑的激光设备，其特征在于，包括，入射激光束，凸透镜，相位板，靶面，相位板由单轴晶体构成，且相位板的前后表面与单轴晶体的光轴平行，且前后表面的其中一面，其上有使用已有技术刻蚀的连续相位板面形；入射激光束进入光路时与凸透镜表面垂直，其偏振方向与单轴晶体光轴夹45度角；相位板位于透镜和靶面之间并靠近透镜一侧，且其上刻蚀有连续相位板面形的一面与靶面相对。本发明在不降低激光驱动器性能的前提下，保留了焦斑整形和偏振匀滑的功能，取代了连续相位板和偏振匀滑晶体板的组合，相比以前的方法更加简洁；同时降低了光束通过光学元件的总厚度，可有效地降低光学元件的损伤风险。

主权项

一种用于靶点焦斑整形和光束匀滑的激光设备，其特征在于，包括，入射激光束，凸透镜，相位板，靶面；其中，所述相位板由单轴晶体构成，且所述单轴晶体被加工成前后表面与单轴晶体的光轴平行的晶体板，且所述晶体板前后表面的其中一面，其上有刻蚀的连续相位板面形；所述入射激光束进入光路时与凸透镜表面垂直，且其偏振方向与单轴晶体光轴夹45度角；所述相位板位于透镜和靶面之间并靠近透镜一侧，且其上刻蚀有连续相位板面形的一面与靶面相对；所述入射激光束经凸透镜聚焦后形成聚焦光束，且所述聚焦光束进入相位板后产生双折射现象，被分成强度相等的寻常光(o光)和非常光(e光)，且所述寻常光(o光)和非常光(e光)在出射时，光束上都带有连续相位板面形对应的相位分布，且所述寻常光(o光)和非常光(e光)因折射率不同，使得寻常光(o光)和非常光(e光)的焦点在成像的位置上前后错开，且所述焦点之间的距离有位移差Δz；所述靶面的位置取位移差Δz的中间值进行设置。