[发明专利]校正光束图案化的方向和位置的方法

摘要

本发明提供一种校正光束图案化的方向和位置的方法，所述方法包含将衬底装载到处理腔室中；基于表示作为变形前衬底的非变形衬底的形状的非变形衬底形状信息创建虚拟非变形衬底模型；检查装载到处理腔室中的衬底的变形水平且创建虚拟变形衬底模型；计算作为图案化区段起始侧的中心点的图案化区段起始点及作为图案化区段结束侧的中心点的图案化区段结束点，其中通过使用非变形衬底形状信息在变形衬底模型的每个区段上执行光束的图案化；以及考虑到图案化区段起始点与图案化区段结束点之间的斜率，确定每个区段的图案化起始衬底位置。

主权项

一种校正光束图案化的方向和位置的方法，所述方法包括：将衬底装载到处理腔室中；基于表示作为变形前衬底的非变形衬底的形状的非变形衬底形状信息创建非变形衬底模型；检查装载到所述处理腔室中的衬底的变形水平并且创建变形衬底模型；计算作为图案化区段起始侧的中心点的图案化区段起始点及作为图案化区段结束侧的中心点的图案化区段结束点，其中通过使用所述非变形衬底形状信息在所述变形衬底模型的每个区段上执行光束的所述图案化；以及考虑所述图案化区段起始点与所述图案化区段结束点之间的斜率，确定每个区段的图案化起始衬底位置；其中所述非变形衬底形状信息包括光束图案化区段的数目；其中所述变形衬底模型的所述创建包括：读取作为在装载到所述处理腔室中的所述衬底上形成的对齐标记的变形对齐标记；测量作为所述非变形对齐标记与所述变形对齐标记之间的变形水平的标记变形水平；以及自所述非变形衬底模型创建具有图案化变形起始侧和图案化变形结束侧的所述变形衬底模型，所述图案化变形起始侧和所述图案化变形结束侧是通过按所述标记变形水平扩张或收缩图案化起始于的所述图案化起始侧和图案化结束于的所述图案化结束侧而获得的；其中所述图案化区段起始点的所述计算包括：将所述图案化变形起始侧的整个长度划分为对应于所述光束图案化区段的数目的部分并且计算每个图案化区段起始侧的位置；以及将所述图案化区段起始侧的每个中心点作为图案化区段起始点进行计算；其中通过所述光束图案化区段的数目划分所述图案化变形结束侧，以根据通过划分获得的每个图案化区段结束侧计算出所述图案化区段结束点；且其中每个区段的所述图案化起始衬底位置的所述确定包括：计算连接所述图案化区段起始点与所述图案化区段结束点的倾角；按所述倾角旋转衬底平台从而允许衬底在平行于所述非变形衬底模型的所述图案化方向的方向上移动；以及按根据所述旋转的所述图案化区段起始点的变化水平和所述图案化区段结束点的变化水平移动坐标值，并且确定每个区段的最后一个图案化起始衬底位置和图案化结束衬底位置。