[发明专利]一种大尺寸平面度的在位测量方法有效

专利信息
申请号: 201410249777.1 申请日: 2014-06-06
公开(公告)号: CN103983219B 公开(公告)日: 2017-01-25
发明(设计)人: 李杰;吴时彬;曹学东;朱文;杨杰 申请(专利权)人: 中国科学院光电技术研究所
主分类号: G01B11/30 分类号: G01B11/30
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司11021 代理人: 宋焰琴
地址: 610209 *** 国省代码: 四川;51
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摘要: 发明提供一种大尺寸平面度的在位测量方法,包括步骤如下在被测平面附近布置两站激光跟踪仪,且两站激光跟踪仪之间相对被测平面具有一高度差;对两站激光跟踪仪的系统误差进行自校准;将两站激光跟踪仪位于被测平面附近不同的两位置,并分别测量被测平面上相同被测点的坐标,分别得到两站激光跟踪仪的第一位置坐标数据和第二位置坐标数据;使用第一位置坐标数据对第二位置坐标数据进行误差补偿,得到补偿后的坐标数据;对补偿后的坐标数据进行计算,获得被测平面的平面度。本方法使用一站对另外一站测量数据误差补偿,提升平面度测量精度。本发明测量简单高效且易于实现,尤其对加工过程中大尺寸平面度的在位检测有重要的应用价值。
搜索关键词: 一种 尺寸 平面 在位 测量方法
【主权项】:
一种大尺寸平面度的在位测量方法,其特征在于:该方法通过以下步骤完成:步骤S1:在被测平面附近布置两站激光跟踪仪,且两站激光跟踪仪之间相对被测平面具有一高度差;步骤S2:对两站激光跟踪仪的系统误差进行自校准;步骤S3:将两站激光跟踪仪位于被测平面附近不同的两位置,并分别测量被测平面上相同被测点的坐标,分别得到两站激光跟踪仪的第一位置坐标数据和第二位置坐标数据;步骤S4:使用第一位置坐标数据对第二位置坐标数据进行误差补偿,得到补偿后的坐标数据;步骤S5:对补偿后的坐标数据进行计算,获得被测平面的平面度。
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