[发明专利]一种净化高纯氩气的装置无效
申请号: | 201410247692.X | 申请日: | 2014-06-06 |
公开(公告)号: | CN104030259A | 公开(公告)日: | 2014-09-10 |
发明(设计)人: | 梁柱元;梁冬;孙杰;仲红刚;翟启杰 | 申请(专利权)人: | 上海大学 |
主分类号: | C01B23/00 | 分类号: | C01B23/00 |
代理公司: | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人: | 顾勇华 |
地址: | 200444*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明涉及一种净化高纯氩气的装置,属气体净化技术领域。该装置包括,由螺旋形电热丝、热电偶、控温仪和绝热材料组成的电阻炉,置于电阻炉内且装满海绵钛的石英玻璃管,密封并固定石英玻璃管两端的接头,起冷却接头作用的冷水机;进气接头连接高纯氩气气源,出气接头连接可调节气体流速的流量计,再连接用气设备;电阻炉升至目标温度并保持一段时间后,打开气瓶并调节流量计,使高纯氩气沿图中箭头方向流过加热的海绵钛而得到净化。本发明结构简单、安装方便、易于操作,能有效降低高纯氩气中的杂质含量,实现对高纯氩气的净化。 | ||
搜索关键词: | 一种 净化 高纯 装置 | ||
【主权项】:
一种净化高纯氩气的装置,主要包括:由螺旋形电热丝(7)、热电偶(5)、控温仪(1)和绝热材料(6)组成的电阻炉,置于电阻炉内且装满海绵钛(9)的石英玻璃管(8),密封并固定石英玻璃管(8)两端的接头(2‑1、2‑2),用于冷却接头(2‑1、2‑2)的冷水机(3);进气接头(2‑1)连接高纯氩气气源,出气接头(2‑2)连接可调节气体流速的流量计(10),再连接至用气设备。
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