[发明专利]一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器在审
| 申请号： | 201410239945.9 | 申请日： | 2014-05-30 |
| 公开（公告）号： | CN104020139A | 公开（公告）日： | 2014-09-03 |
| 发明（设计）人： | 李志全;朱君;赵玲玲;严蕾;孟晓云;牛力勇 | 申请（专利权）人： | 燕山大学 |
| 主分类号： | G01N21/55 | 分类号： | G01N21/55 |
| 代理公司： | 石家庄一诚知识产权事务所 13116 | 代理人： | 李合印 |
| 地址： | 066004 河北省*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，包括衍射光栅与金属三角纳米粒子形成的波导结构，其特征是：所述波导结构是由排列在衍射光栅抗蚀层上的金属三角纳米粒子构成；金属三角纳米粒子的形成首先是通过在抗蚀层上利用尺寸分散的聚丙乙烯纳米球进行自组装形成淀积掩膜，然后金属通过高温或电子束蒸发的方法溅射到纳米球层中，再通过清洗移除聚丙乙烯纳米球后，残留的金属即形成排列好的三角纳米粒子。其优点是：在充分发挥SPR技术优势的同时，不再拘泥于SPR传感器仅仅作为单一器件实现生物信号测量，衍射光栅结构提供了技术集成的基础，且以现有制备技术而言，易于实现。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衍射 光栅 输入输出 表面 等离子 共振 传感器 | ||
【主权项】：
一种衍射光栅输入输出的表面等离子共振传感器，包括衍射光栅与金属三角纳米粒子形成的波导结构，其特征是：所述衍射光栅是通过在Pyrex玻璃板的一个板面上制作聚甲基丙烯酸甲酯的抗蚀层，在没有抗蚀层的玻璃板板面上蚀刻出的单维衍射光栅，所述波导结构是由排列在衍射光栅抗蚀层上的金属三角纳米粒子构成；金属三角纳米粒子的形成首先是通过在抗蚀层上利用尺寸分散的聚丙乙烯纳米球进行自组装形成淀积掩膜，然后金属通过高温或电子束蒸发的方法溅射到纳米球层中，再通过清洗移除聚丙乙烯纳米球后，残留的金属即形成排列好的三角纳米粒子。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于燕山大学，未经燕山大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201410239945.9/，转载请声明来源钻瓜专利网。
