[发明专利]负型感光性树脂组合物、电子装置和聚合物有效
申请号: | 201410228802.8 | 申请日: | 2014-05-27 |
公开(公告)号: | CN104216228B | 公开(公告)日: | 2019-11-19 |
发明(设计)人: | 大西治;池田阳雄 | 申请(专利权)人: | 住友电木株式会社 |
主分类号: | G03F7/027 | 分类号: | G03F7/027;G03F7/004;C08F222/06;C08F232/08;C08F8/14;C08F8/00 |
代理公司: | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人: | 金世煜;苗堃<国际申请>=<国际公布>= |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: |
本发明提供分辨率与图案形成所花费的时间的平衡优异的负型感光性树脂组合物、电子装置、聚合物。本发明提供一种负型感光性树脂组合物,包含聚合物和光自由基聚合引发剂,该聚合物包含以下(1)和(2a)所示的重复单元,式(2a)的R5具有自由基聚合性基团且为碳原子数2~18的有机基团。 |
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搜索关键词: | 聚合物 式( 1 ) 负型感光性树脂组合物 碳原子数 有机基团 光自由基聚合引发剂 自由基聚合性基团 电子装置 图案形成 分辨率 平衡 | ||
【主权项】:
1.一种负型感光性树脂组合物,包含聚合物和光自由基聚合引发剂,/n所述聚合物包含以下(1)和(2a)所示的重复单元且不含来自乙烯基甲苯的结构单元,式(2a)的R5具有自由基聚合性基团且为碳原子数2~18的有机基团,/n /n式(1)中,R1、R2、R3和R4各自独立地为氢或碳原子数1~30的有机基团,n为0、1或2。/n
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