[发明专利]外控制式的紫外激光功率稳定系统

摘要

本发明公开了一种外控制式的紫外激光功率稳定系统，主要解决现有激光功率稳定系统稳定性低的问题。其包括紫外激光光源系统(1)、紫外环境控制室(2)、电光调制器(22)、取样器(26)、光学斩波器(3)、滤光片(4)、光电前放模块(5)、反馈控制模块(6)、电光调制驱动器(7)和激光光功率检测器(8)；紫外激光光源系统输出功率待稳定的紫外激光，并通过电光调制器、取样器、斩波器和滤光片后垂直照射到光电探测器上产生电信号；该电信号通过反馈控制模块产生反馈信号，以控制电光调制驱动器调节电光调制器稳定紫外激光的光功率。本发明稳定性高，适用于250nm‑400nm波段的紫外激光功率稳定。

主权项

一种外控制式的紫外激光功率稳定系统，包括：紫外激光光源(1)，用于产生连续型紫外激光并校准激光光路，输入给起偏器；起偏器(21)，用于将紫外激光的圆偏振态调节为线偏振态；检偏器(24)，用于检验紫外激光的线偏振态的偏振方向，并把此线偏振态的紫外激光输出给滤光片；滤光片(4)，用于衰减线偏振态的紫外激光，并输入到光电前放模块(5)；光电前放模块(5)，用于对线偏振态的紫外激光依次进行光电转换、放大电信号和还原有效信号，并将该有效信号传输到反馈控制模块(6)；反馈控制模块(6)，用于实现电信号的运算处理，处理后的电信号输出到电光调制驱动器(7)，以输出调节参数，实现对电光调制驱动器(7)的实时调节；电光调制驱动器(7)，用于根据反馈控制模块(6)电信号输出调节参数，实时调节电光调制器(22)；激光光功率检测器(8)，用于根据输出光测量其光功率值；其特征在于，还包括紫外环境控制室(2)，用于实时调节控制线偏振态的紫外激光传输环境，实现线偏振态的紫外激光的稳定传输；电光调制器(22)，用于调节控制线偏振态的紫外激光的光功率；1/4波片(23)，用于使紫外激光相位延迟π/2，空间滤波器(25)，用于消除系统杂散光；取样器(26)，用于将线偏振态的紫外激光分为两路，且反射路传输到激光光功率检测器(8)，透射路传输到光学斩波器(3)；光学斩波器(3)，用于调制线偏振态的紫外激光，即按照设定的斩波值对取样器(26)输出的反射路光束进行调制，使该线偏振态的紫外激光具有特定频率，并将调制后的紫外激光输出到滤光片4；所述起偏器(21)、电光调制器(22)、1/4波片(23)、检偏器(24)、空间滤波器(25)和取样器(26)从左至右依次紧密排列，固定在紫外环境控制室(2)内。