[发明专利]厚度在线实时检测的光学干涉装置有效
| 申请号： | 201410217328.9 | 申请日： | 2014-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN104792272B | 公开（公告）日： | 2018-01-30 |
| 发明（设计）人： | 王伟中;黄吉宏;宋泊锜;李孟修 | 申请（专利权）人： | 王伟中 |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 长沙正奇专利事务所有限责任公司43113 | 代理人： | 何为,袁颖华 |
| 地址： | 中国台湾新*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种厚度在线实时检测的光学干涉装置，包括光源，用以产生高同调性点扩束的球面光波；屏幕，设置于该光源前方，用以将高同调性点扩束的球面光波自斜向角度照射一待测试件时产生的干涉条纹成像于其上；影像撷取单元，设置于该屏幕前方，用以撷取该屏幕上的干涉条纹并转换为数字影像；以及影像处理模块，与该影像撷取单元连结，用以分析干涉条纹的数字影像并进行数值计算，以取得该待测试件的全场厚度分布。如此，利用高同调性点扩束的球面光波以斜向角度照射待测试件进行瞬时且大范围面积的全场厚度量测，适用于实时在线检测，符合快速在线检测的量测时间短及范围大等要求，对待测试件以非接触及非破坏性方式进行量测。 | ||
| 搜索关键词： | 厚度 在线 实时 检测 光学 干涉 装置 | ||
【主权项】：
一种厚度在线实时检测的光学干涉装置，其特征在于：该装置仅包括：光源，用以产生高同调性点扩束的球面光波；屏幕，设置于该光源前方，用以将高同调性点扩束的球面光波自斜向角度照射一待测试件时产生的干涉条纹成像于其上；影像撷取单元，设置于该屏幕前方，用以撷取该屏幕上的干涉条纹并转换为数字影像；以及影像处理模块，与该影像撷取单元连结，用以分析干涉条纹的数字影像并进行数值计算，以取得该待测试件的全场厚度分布。
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